Plasma tăng cường lắng đọng hơi hóa học (PECVD) là gì?

Plasma tăng cường lắng đọng hơi hóa học (PECVD) (còn gọi là plasma hỗ trợ , PACVD) là một công nghệ quá trình theo đó năng lượng kích hoạt cho các phản ứng tim mạch xảy ra là đạt được không chỉ bởi nhiệt độ, mà còn bởi một năng lượng plasma hình thành trong một điện ( DC hoặc RF) lĩnh vực. PECVD thường được sử dụng trong các tình huống mà các chất nền hoặc màng được lắng tụ có một ngân sách nhiệt thấp và nếu không sẽ bị suy thoái nếu chịu được nhiệt độ cao hơn yêu cầu của CVD nhiệt. Bằng cách thay đổi plasma chúng ta có thể thêm điều khiển bổ sung cho các thuộc tính của phim lưu chiểu.

Chúng tôi cung cấp hệ thống cho DC, RF, và PECVD thượng nguồn từ xa.

Các EasyTube® 2000  hệ thống có thể được cấu hình cho trường DC plasma chế biến tăng cường tim mạch. Hệ thống này được thiết kế với kích thước nhỏ gọn và có thể xử lý wafer kích thước lên tới 2 ".

Các EasyTube® 3000 hệ thống có thể được cấu hình cho trường RF hoặc plasma thượng nguồn xử lý tăng cường tim mạch từ xa. Hệ thống này có khả năng xử lý wafer kích thước lên đến 4 ".

Các EasyTube® 3000EXT  hệ thống có các tính năng tương tự như các ET3000 với một khóa tải thêm để cô lập các buồng quá trình từ môi trường xung quanh. Hệ thống này có khả năng xử lý wafer kích thước lên đến 6 ".

khí Nguồn / hơi được chuyển giao qua kim phun cho sự phát triển bộ phim thống nhất. nền tảng mô-đun của chúng tôi bao gồm một loạt các lựa chọn có thể được cấu hình để đáp ứng yêu cầu của quá trình cụ thể của bạn. Nhiều người trong số các tùy chọn là lĩnh vực nâng cấp.

PECVD là cần thiết cho việc chế tạo các thiết bị bán dẫn. Nó cũng được sử dụng cho sơn công nghiệp nơi mà lợi ích của bệnh tim mạch được yêu cầu (sự phù hợp, mật độ cao, độ tinh khiết cao, tính đồng nhất) nhưng nơi mà các chất nền hoặc lớp lắng không thể chịu nhiệt độ cao.

EasyTube® 2000 (50 mm x 50 mm Substrate)

 

 

EasyTube® 3000 (100 mm x 100 mm Substrate)

 

 

EasyTube® 3000EXT (150 mm x 150 mm Substrate)

 

 

Tin tức khác

• Bỏ túi 5 mẹo dọn dẹp để làm mới thiết kế website (25-08-2017)
• Website chuẩn SEO - những tiêu chí cơ bản (18-08-2017)
• dây nano bán dẫn là gì? (10-02-2017)
• THIẾT BỊ CVD GRAPHENE USA (10-02-2017)
• Một lớp CVD Graphene Màng PET cho các ứng dụng R & D - Graphenea Tổng quan về sản phẩm (10-02-2017)
• CVD Graphene - Tạo Graphene Bằng PP ngưng tụ hóa học Chemical Vapour Deposition (CVD) (10-02-2017)
• HỆ CVD GRAPHENE PLANARGROW (10-02-2017)
• Tiềm năng ứng dụng của công nghệ nano (10-02-2017)